近日，优睿谱半导体设备有限公司宣布成功完成新一轮融资，由合肥产投资本独家投资。此次融资将助力优睿谱进一步推动半导体前道量测设备的研发与量产。
优睿谱成立于2021年9月，专注于半导体前道量测设备的研发与生产。公司总部位于上海浦东新区张江高科技园区，并在浦东金桥设立研发中心，在无锡高新区搭建技术中心。创始人余先育拥有超过15年的半导体行业经验，曾在国际知名企业担任重要职务，积累了丰富的技术与市场经验。
优睿谱的核心产品FTIR设备Eos200Lite已获得多家头部碳化硅基外延厂的订单，主要用于测量外延片的厚度和均匀性。此外，Eos200/200+、Eos300/300+等设备也收获了众多订单，展现了公司在高端量测设备领域的强大竞争力。
2022年8月，优睿谱完成了数千万元Pre-A轮融资，由弘卓资本领投，资金主要用于Eos200/Eos300及Selene系列产品的量产和新设备开发。2023年7月，公司又完成了近亿元A轮融资，由基石浦江领投，资金用于新产品的研发及量产。2024年7月，优睿谱再次完成数千万元融资，由君子兰资本领投，资金主要用于晶圆边缘检测设备SICE200、晶圆电阻率量测设备SICV200、晶圆位错及微管检测设备SICD200以及多种半导体材料膜厚测量设备Eos200DSR的量产和新产品的研发。
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