艾恩半导体离子注入机研发取得突破

时间：2025-05-10 01:36:32

　　据大众日报报道，艾恩半导体自主研发的第一代碳化硅离子注入机已进入市场验证阶段。此外，该公司对标国际领先技术的第二代碳化硅离子注入机正在加速研发，预计今年9月面市。今年6月，艾恩半导体还将推出一款硅基中束流离子注入机，而其碳化硅大束流离子注入机则计划于年底推向市场，有望填补国产设备在这一领域的空白。

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