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ASML 将于今年推出透光率超 90% 的 EUV 防护膜,提

时间:2021-05-15 15:36:42

    外媒表示,此种防护膜主要用于安装在EUV光路和晶圆制造空间之间,用于防尘。此前的防护膜透光率仅有78%,然而一片的价格高达26000美元(约16.74万元人民币)。三星和台积电目前为了生产效率,没有使用这种防护膜,尽管这会提高晶圆表面被污染的风险。这两家代工厂此前表示,他们需要透光率超过90%的防护膜,才会考虑应用到生产线上。了解到,ASML宣布此款EUV防护膜能够承受400W的功率,将由日本厂商三井化学制造。

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