河北晶驰机电交付首台12寸碳化硅长晶炉

时间：2025-05-20 23:37:44

　　5月18日，河北晶驰机电有限公司（以下简称“晶驰机电”）在河北省举行了首台（套）12寸电阻法高纯碳化硅晶体生长炉的交付仪式。据正定发布消息，这款设备采用电阻式物理气相传输（PVT）方法，通过创新的结构与热场设计，结合先进的过程控制理论和自动化技术，实现了径向温度的均匀分布和轴向温度梯度的精准调控。其智能化运行能力显著，可实现8英寸和12英寸碳化硅单晶的“一键切换”生产，极大提升了设备的灵活性和生产效率。

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